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横川机器人(深圳)有限公司

3C行业半导体行业新能源行业医疗器械行业激光行业面版行业

晶圆划片机

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应用设备:划片机

采用激光、刀片等方式对陶瓷、硅片等进行高精度切割的装置,是半导体封测中的关键设备。 

88购彩工况要求:配合侧腐蚀工艺、垂直结构工艺的划片和切割,切割运动要求平稳、振动小、速度高,负载安装面精度2μm

 

88购彩横川DD马达在划片机实现的功能:纠偏、走工位

用DD马达配合CCD进行纠偏及90度工位调整,负载安装面机械精度达到 2μm,能够很好满足该设备高精度、恒定速度的要求

 

88购彩横川DD马达应用代表型号

DMFI224-030FE

连续扭矩:20 N·m

峰值扭矩:30 N·m

88购彩绝对精度:±26/±10 arc-sec

88购彩重复定位精度:±1 arc-sec

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